SWIR相机半导体行业经典应用案例
SWIR短波红外相机自发布以来便引起重大关注,产品的实际应用效果到底如何呢?海康机器人产品组配合终端客户近一个多月的测试,在半导体/光伏行业的硅棒和硅片检测中,首次测试成功,获取客户高度认可,且在光源波段、镜头适配等方面有了较好的经验,可在行业内大范围推广。

硅在1100nm以上波段的红外光中是透明的,因此我们可以针对这种特性进行单晶硅的各类产品进行成像测试。前道工序如硅棒、硅片(含半导体或光伏),中后道则有已切割过的硅片等。同时,还可对已蚀刻电路的晶圆进行检测。搭配不同倍率的镜头,可以做不同视野、精度的检测需求,如上海展会展示过的demo中,使用的是4倍率的远心镜头,可以展示1.2x1.6mm大小的芯片,精度更高。

本次案例是针对硅棒进行检测,在前道的工序中,尽早确认硅棒的优劣,可以大幅节省后续切割工作的成本和时间,可以大幅提升生产效率。

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